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激光清洗机的原理

编辑   重庆初刻   发表于2022-08-18

激光清洗机的原理


激光具有高方向性,单色性,高相干性和高亮度等特点。通过镜头的聚焦和Q开关,可以将能量集中在较小的空间和时间内。在激光清洗应用中,主要运用了以下几种性质:

1. 激光可以将能量在时间和空间上实现的高度集中。通过聚焦后的激光束可以在焦点周围产生数千度甚至数万度的高温,使灰尘瞬间蒸发、气化或分解。

2. 激光束发散角小,定向性好。激光束通过冷凝系统可以聚焦成不同直径的光斑。在相同激光能量的条件下,通过控制不同直径的激光束光斑,可以调节激光的能量密度,通过加热使污垢膨胀。当污垢的膨胀力大于污垢对基体的吸附力时,污垢就会从物体表面脱离。

3.激光束在固体表面产生超声波,产生机械共振,使污垢脱落。

激光清洗机是利用激光的特性来实现清洗的。根据被清洗基板的光学性质和污垢去除情况,可以将激光清洗机构分为两类:

一是使用清洗基板(也称基体)和表面附着力(污垢)对相同波长的激光能量吸收程度相差太大。大部分的激光能量辐射表面吸收表面附件,加热或蒸发,气化,或瞬间扩大,是由形成气流,和分开对象的表面来达到清洗的目的。在这个波长下,由于激光的非常小的吸收能量,基板不会被损坏。对于这种激光清洗,选择合适的波长和控制激光能量是安全高效清洗的关键。

另一类适用于清洁基片与表面附着物的激光能量吸收系数差别不大,或基片对涂层受热形成的酸性蒸气较为敏感,或涂层受热后会产生有毒物质等情况的清洗方法。该类方法通常是利用高功率高重复率的脉冲激光冲击被清洗的表面,使部分光束转换成声波。声波击中下层硬表面后,返回的部分与激光产生的入射声波发生干涉,产生高能波,使涂层发生小范围的爆炸,涂层被压成粉末,再被真空泵清除,而底下的基片却不会损伤。

这些就是激光清洗机的原理和分类,更多关于激光清洗的疑问,欢迎咨询。